国研院仪科中心突破大口径非球面镜技术瓶颈，完成福卫五号航太级镜片开发，并与国内相关设备产业合作，将共同进军半导体设备国产化市场，拥有光学及曝光机技术的志圣（2467）、旭东等，均积极抢进3D IC与长凸块的曝光机设备市场。

   国研院仪科中心昨天发表国人自制航太镜片技术，是协助国内产业大步迈入高科技设备自主里程碑。

    仪科中心主任叶哲良表示，福卫五号计划2015年第3季发射升空，仪科中心已完成航太级大口径非球面镜技术开发，以全数国人自制的卫星镜头组升空。

   在此基础上，仪科中心与国内半导体厂积极合作，今年起将先销售曝光机用的镜片；接下来再与设备厂商合作，进军国产曝光机台设备市场。

    叶哲良指出，目前半导体厂采用的曝光机镜头组，一片8吋晶圆用的镜头，原厂售价在100万至200万元；12吋则要500万至1,000万元。