据报道，汉微科于16日上午7时30分举行重大讯息记者会，公开宣布汉微科与ASML签署股份转换契约，ASML将收购汉微科全部流通在外之普通股股份，每股收购价为1410元，总交易金额约新台币1000亿元(约27.5亿欧元 )，而汉微科也将成为ASML(或其指定之子公司)100%持股之子公司。本次股份转换案预计于今(2016)年第四季完成，而汉微科届时也将下市。

    汉微科董事长许金荣表示，这是双方情投意合。

    汉微科表示，此次整并目的主要系考量长期发展方向，并为整合资源、提升营运规模，以提高公司竞争优势，就预计产生之效益而言，预期藉由本次股份转换案完成整并后，可使汉微科与ASML进一步整合，并加速开发半导体厂可使用在最先进制程之技术以提升其良率，使客户取得致胜关键。

    汉微科指出，旗下电子束量测技术可针对2D及3D图案进行清楚的成像，ASML可借此成像强化其设计及制程模拟模型，此项应用为运算微影之基石；且经过详细运算后，该模型可引导光学及电子束量测机台到晶圆上最复杂、对良率控制最为关键的图案，以最具成本效益方式支援ASML极紫外光微影系统平台效能的提升，而该平台也将用于2018年起量产的下一代半导体制程上。

    ASML指出，双方量测技术将具互补效益，两公司结合，将有利协助客户强化制程控制并提高良率 ??。随着半导体制程技术不断推进，10纳米以下及3D立体结构制程的制程技术及良率控制难度提高，需高密度、高解析度的量测技术，测量及控制半导体元件效能。立体半导体制程也需要高密度、高电压反差的量测，控制立体结构产品性能。 汉微科多年专注高解析度及电压反差成像电子束产品及应用开发，位居电子束检测设备龙头，核心技术将可增加ASML包括微影曝光系统、运算微影及量测等全方位微影技术解决方案。

    来源：集微网