随着三星10纳米制程借高通骁龙835处理器的亮相，以及由台积电10纳米制程所生产的联发科Helio X30处理器，在魅族Pro 7系列手机首发，之后还有海思的麒麟970及苹果A11处理器的加持下，手机处理器的10纳米制程时代可说是正式展开。而对于下一代的7纳米制程，当前来看，应该仍是三星与台积电两大龙头的天下。由于在7纳米制程中，极其依赖的极紫外光（ EUV）设备，中国厂商在短期间内仍无法购买到。这对于正积极建构自身半导体生产能量的中国来说，将可能在7纳米这个制程节点上被拉远距离。 

事实上，对于7纳米制程，三星和台积电两大晶圆代工龙头都早已入手布局，以便争夺IC设计业者们的订单。其中，日前传出三星原定在2018年破土动工的韩国华城18号生产线，动工时间已经被提前到了2017年的11月，以便在2019年能够进入7纳米制程的量产阶段。其中，18号生产线将会架设10多台极紫外光（EUV）设备，以强化生产效能。

    至于，台积电在7纳米制程的布局，根据台积电高层之前在法说会上的说法，表示目前已经有12个产品设计定案，这使得第一代7纳米制程将会在2017年底或2018年达成量产。至于，第二代的7纳米制程则会在2019年达成量产的目标，制程中也将导入EUV的技术。因此，在不论是三星，或者台积电都将在7纳米制程上都将引入EUV技术的情况下，而这种被视为延续摩尔定律的设备，正是被寄望能推动未来制程进步的重要关键。

    因此，就7纳米制程这个节点的状况来看，在一定程度上也是被EUV设备所控制，而EUV设备却是被荷兰半导体设备厂商艾司摩尔 (ASML) 所控制的。ASML是一家从事半导体设备设计、制造及销售的企业，自1984年从飞利浦独立出来之后，在2016年先后宣布收购汉微科及蔡司半导体24.9%股份。而这家垄断了高端光刻机市场的厂商，其股东中就包含英特尔 (intel)、台积电和三星。根据ASML公布的2017第2季财报，公司单季的营收净额为21亿欧元，毛利率为45%。

    由于，EUV的研发难度非常大。因此，也造成单价的居高不下，每一台的价格约在高昂1亿欧元上下。而且，这种价值连城的设备还不是有钱就能买到的。例如受限于《瓦圣纳协定 (The Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies)》，中国的厂商就买不到这种最高阶的光刻机设备。此外，由于ASM 的EUV年产量也只有12台，包括三星及台积电几乎已经抢光了2017到2018年所有产能的情况下，即便有报导称 ASML正在提升生产效率，希望在2018年将产能增加到24台，2019年达到40台，但仍不足以应付市场的需求。使得中国厂商即使有机会购买 EUV 设备，短期恐怕也都要落空。

    当前，对于大力投入集成电路发展的中国来说，虽然买不到ASML的EUV设备，但是也寻找其他方式希望能有所突破。例如2017年3月，上海微电子装备（集团）就与ASML签署了合作备忘录。6月时，上海集成电路研究开发中心又宣布与ASML合作，将共同建立一个培训中心。另外，由中国本地的长春光机所带领的极紫外光刻关键技术研究专案，也在2017年6月启动。而这些计划，都是中国希望能在EUV设备销售限制上能有所突破准备。但是，实际上在未来是不是真的能有所进展，达成最后的目标，就还有待日后的持续观察。

    来源：TechNews