台积电取得跨足10纳米以下先进制程最关键的极紫外光（EUV）机台，摆脱半导体摩尔定律可能受到的物理极限限制，成本还有再下降空间，未来将持续用来生产高通、苹果等大客户高阶芯片。

EUV机台要价9,000万欧元（约新台币36亿元），被誉为是「半导体设备中的钻石」，由于造价昂贵，已竖起进入门槛。

据了解，除了台积电之外，三星、英特尔、IBM也是向艾司摩尔下单EUV机台的「大户」，这些公司将同时取得进入10纳米以下世代制程的门票，半导体业「愈高阶制程愈走向寡占」的态势更加确立。

主导EUV设备开发的艾司摩尔（ASML）亚太区技术营销协理郑国伟昨（3）日在台北国际半导体展（SEMICON Taiwan）开幕首日，透露相关讯息。

他表示，艾司摩尔已接获多家半导体大厂共11台EUV订单，首批六台已交货，台积电在出货名单之列。预料今年下半年到明年第1季，另五台设备也将完成交货。

艾司摩尔这项宣布，透露先前遭遇技术瓶颈的EUV设备，克服关键输出率不佳的最大瓶颈，有助半导体厂加速导入10 纳米量产脚步。

设备商透露，艾司摩尔现有11台EUV订单当中，有两台是台积电下单，其中一台已在台积电竹科12厂安装完毕，正进行10纳米制程研发，另一台可能在明年首季于台积电中科厂装设。台积电昨未对此置评。

业界评估，台积电有了EUV机台之后，先进制程推进脚步将更如虎添翼，甩开原本业界忧心碍于物理限制、恐无法顺利导入10纳米以下制程的问题，若良率提升状况顺利，有助台积电成本持续下降。

郑国伟说，艾司摩尔有信心，协助客户在今年底前试产10纳米制程，并于2016年导入量产，后续也将着手为更先进的7纳米制程做准备。

业界预期，台积电10纳米制程量产之后，初期仍将承接高通、苹果等需要更省电、更高阶制程需求的移动通信芯片大客户订单。台积电昨天涨2元、收128元；美国存托凭证（ADR）也在先进制程布局报喜激励下，早盘涨逾1%。

艾司摩尔在开发EUV机台初期，考量相关投资庞大，对台积电、英特尔、三星提出投资邀约，希望集结各大厂的资源共同开发，三家业者随后都同意入股。台积电在2012年10月投资8.38亿欧元（约新台币335.2亿元），取得艾司摩尔5%股权。